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| 晶圓片預(yù)熱烤箱，晶圓片涂膠后堅膜烘烤箱，晶圓片顯影后的高溫烘烤箱 |
| 關(guān)鍵詞：晶圓片預(yù)熱烤箱 晶圓片涂膠后堅膜烘箱 晶圓片顯影后高溫烘箱 晶圓片預(yù)熱烤箱報價 |
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公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司 |
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詳細(xì)說明 |
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本公司COL－系列無塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。 技術(shù)參數(shù)： 1. 百級無塵烤箱型號:COL-2 2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500 3. 溫度范圍：RT＋ 4. 無塵烤箱潔凈度：100級； 5. 溫度均勻性: ±1.5% 6. 波 動 度：± 7. 電 源：380V 50Hz 7.5KW； 8. 箱體材料：外箱采用
SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細(xì)玻璃棉； 9. 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機(jī)； 10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器； 11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻； 12. 控制儀表：進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度 13. 超溫保護(hù)儀表：獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗(yàn)品的安全； 14. 控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?o:p> 15. 排 氣 口：ф50； 16. 隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約 |
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